60年代初，陈诚晚年，一张罕见的留影，镜头中的他穿着整洁的中山装，眉宇之间透露出坚毅和果决，他正在与人交谈，神态严肃，尽管面容已经显露出些许衰老。

此时的陈诚，身体状况已经相当差了。医生多次告诫他，务必要注意休息，不能过度操劳，然而由于身兼重任，他仍然不得不到处去视察建设，甚至在雨夜中，指挥前线的救灾工作。

陈诚的一辈可以说仕途顺风顺水，因为他一直以来都是蒋最信任的人。他身上具备了蒋用人的全部标准：忠诚，有浙江人的精明和务实，以及黄埔系的军事才能。因此，陈诚的升迁之路也是非常迅速的。他以自己的能力和魅力为核心，形成了一个高级将领的派系——“土木系”，这个派系在当时的国府中拥有很大的影响力。

陈诚的晚年身体状况欠佳，在去世的前一年，他感觉自己撑不住了，于是提出了退休的请求，最终这个请求得到了批准。1965年3月，陈诚因肝癌在台北去世，终年68岁